簡(jiǎn)要描述：奧林巴斯光學(xué)測量顯微鏡
STM7測量顯微鏡系列采用了歷代奧林巴斯的技術(shù)，并借鑒了長(cháng)達一個(gè)多世紀顯微鏡研發(fā)和50多年測量顯微鏡研發(fā)的經(jīng)驗，品質(zhì)值得信賴(lài)。

奧林巴斯光學(xué)測量顯微鏡
奧林巴斯光學(xué)測量顯微鏡

值得高度信賴(lài)的STM7測量顯微鏡——

以長(cháng)達一個(gè)世紀之久的奧林巴斯技術(shù)為依托

STM7測量顯微鏡系列采用了歷代奧林巴斯的技術(shù)，并借鑒了長(cháng)達一個(gè)多世紀顯微鏡研發(fā)和50多年測量顯微鏡研發(fā)的經(jīng)驗，品質(zhì)值得信賴(lài)。

• 的光學(xué)技術(shù)實(shí)現對極細微樣品的逼真成像。

• *的測量技術(shù)實(shí)現對樣品的準確測量。

• 自動(dòng)聚焦和聚焦導航系統使測量更簡(jiǎn)單、更精確。

• 全面的可追溯系統可以提供可靠和可信賴(lài)的測量。

因此，多年來(lái)，奧林巴斯測量顯微鏡一直廣受用戶(hù)的青睞。

STM7通過(guò)整合光學(xué)顯微鏡和*的測量能力實(shí)現精確測量

多年的顯微鏡開(kāi)發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀(guān)察性能

奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列采用了當前光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無(wú)限遠校正光學(xué)系統。因此，觀(guān)察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被*消除，以確保實(shí)現對微小細節的高精度測量。 

 
明場(chǎng)圖像               暗場(chǎng)圖像

 
微分干涉圖像            偏光圖像

花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性

為了進(jìn)一步保證測量精度，STM7系列采用了一個(gè)配備花崗巖基座的高度耐用和防振動(dòng)的鏡架。由于花崗巖的高穩定性，使測量可到達亞微米水平，同時(shí)確保大程度地降低誤差。

STM7-LF FEM分析

作為高度測量的先鋒，繼續提供簡(jiǎn)單易操作的高精度3軸測量

隨著(zhù)現代制造技術(shù)日益小型化和精密化，高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量，而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成功開(kāi)發(fā)了測量顯微鏡用采用主動(dòng)反射、共聚焦方法的自動(dòng)聚焦系統的公司，以此響應了這種與日俱增的需求。

主動(dòng)反射，共聚焦自動(dòng)聚焦系統光路

嚴格的可追溯系統確保品質(zhì)可靠

奧林巴斯通過(guò)一個(gè)嚴格的可追溯系統控制測量顯微鏡的精確度。并且在安裝系統時(shí)奧林巴斯也提供了可追溯的校準服務(wù)。

測量顯微鏡溯源系統

STM7的陣容

每一種機型均配備0.1 μm讀數的3軸測量系統

手動(dòng)Z軸調焦機型

STM7-SF

配備50mm×50mm的載物臺或100mm×100mm的載物臺

STM7-MF

配備200mm×200mm的載物臺

STM7-LF

配備300mm×300mm的載物臺

電動(dòng)Z軸調焦機型

STM7-SFA

配備50mm×50mm的載物臺或100mm×100mm的載物臺 

STM7-MFA

配備200mm×200mm的載物臺

STM7-LFA

配備300mm×300mm的載物臺

STM7在設計上非常重視易用性

提供適合您樣品尺寸的載物臺

常見(jiàn)問(wèn)題

·         短測量行程無(wú)法滿(mǎn)足較大樣品的測量需求。

·         目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過(guò)程中需要通過(guò)旋轉樣品來(lái)補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時(shí)，效率不高。

·         由于可測量的范圍窄，無(wú)法將數量較多的樣品排列在載物臺上，以實(shí)現一次性同時(shí)測量。

STM7解決方案

·         共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100 mm,200 mm x 200 mm,和300 mm x 300 mm)。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會(huì )適合您要測量的樣品。

·         采用離合器系統可以在粗調和微調之間實(shí)現快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著(zhù)X軸和Y軸方向迅速移動(dòng)，并且可以在XY平面上自由穿梭。

·         300 mm長(cháng)的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著(zhù)可以不旋轉樣品就實(shí)現大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。

 
 STM7-CS50(50mm x 50mm)      STM7-CS100(100mm x 100mm)

 
 STM7-CS200(200 mm x 200 mm)   STM7-CS300(300 mm x 300 mm)
 
 

使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀(guān)察

常見(jiàn)問(wèn)題

·         大部分傳統的測量顯微鏡只可以測量物鏡或金相物鏡，無(wú)法同時(shí)滿(mǎn)足多種觀(guān)察要求。

STM7解決方案

·         STM7可以通過(guò)安裝一個(gè)測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉盤(pán)后，便可使用金相物鏡。這意味著(zhù)，STM7將金相光學(xué)系統和測量光學(xué)系統同時(shí)結合在一臺測量顯微鏡中。通過(guò)這種方式，無(wú)論是測量大型樣品還是精細樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應并協(xié)助用戶(hù)選擇的觀(guān)察方法。

測量物鏡

由于測量物鏡具有非常長(cháng)的工作距離，因此可以在對表面起伏較大的樣品進(jìn)行聚焦的時(shí)候，無(wú)需擔心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外，借助測量物鏡的低倍率能力，可以一次觀(guān)察到較大的視場(chǎng)。

可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀(guān)察能力。更重要的是，在明場(chǎng)觀(guān)察之外還可以對應暗場(chǎng)，偏光和微分干涉觀(guān)察。

金相物鏡

明場(chǎng)圖像                  暗場(chǎng)圖像

手動(dòng)調焦和電動(dòng)調焦兩種鏡架可供選擇

STM7系列包括手動(dòng)調焦和電動(dòng)調焦兩個(gè)系列

聚焦控制提供手動(dòng)型和電動(dòng)型兩種可選方案。請根據樣品和測量?jì)热葸x擇符合您需求的機型，而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內置Z軸線(xiàn)性標尺，各種型號STM7都可以對應3軸測量。

手動(dòng)Z軸調焦機型

手動(dòng)Z軸調焦機型提供了的成本效益——通過(guò)操作被廣泛使用的調焦旋鈕，可以快速的上下移動(dòng)Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶(hù)提供了方便。

電動(dòng)Z軸調焦機型

使用電動(dòng)調焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時(shí)的操作疲勞。粗微調焦的同軸旋鈕設計使使用者可以以習慣的類(lèi)似手動(dòng)的方式進(jìn)行操作，同時(shí)電動(dòng)機型還可以配備自動(dòng)聚焦單元。

一個(gè)具有突破性設計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性

常見(jiàn)問(wèn)題

·         其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無(wú)法快速找到相應的操作單元，因而顯著(zhù)降低測量效率。

·         眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機的周?chē)?，占用了寶貴的工作空間。

STM7解決方案

操作裝置

對于奧林巴斯測量顯微鏡STM7系列，只要使用單一的操作裝置能夠執行幾乎所有的測量顯微鏡操作，包括重置計數器、照明控制、調焦和自動(dòng)聚焦等功能。為了提高效率和方便性，您可以將裝置放在任何想要放置的位置，并可以輕松地單手操作。

控制箱

各個(gè)單元的電源和通信均被集成在一個(gè)單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設計可以大程度地減少占用工作空間。

 
用于手動(dòng)Z軸調焦機型:STM7-HS手動(dòng)操作裝置  

用于電動(dòng)Z軸調焦機型：STM7-MCZ電動(dòng)操作裝置

大大提高了觀(guān)察和測量效率的光源管理器

常見(jiàn)問(wèn)題

·         傳統測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調節方式不能實(shí)現光強的定量控制。這樣每次測量時(shí)的光強無(wú)法保持一致，導致測量值也發(fā)生變化。

·         使用傳統測量顯微鏡時(shí)，每次切換物鏡后都需要調節光強，這使得工作流程非常低效。

STM7解決方案

能夠定量掌握光源亮度的數字式顯示

STM7的光強可定量顯示，這樣就能保證始終在相同條件下實(shí)施觀(guān)察和測量。

物鏡切換時(shí)，無(wú)需手動(dòng)調節光強
 光強度管理器可以與編碼物鏡轉盤(pán)配置配套使用。帶編碼物鏡轉盤(pán)會(huì )自動(dòng)識別目前使用的物鏡，結合光源管理器的預設值功能，可以為每個(gè)物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當切換物鏡后，可以自動(dòng)調節光強和調整照明方式。象以前每次切換倍率后手動(dòng)調節光強的操作，現在就可以省略了。

 5x物鏡光強50       20x物鏡光強70     100x物鏡光強120
 
 

可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數器，確保能隨時(shí)迅速地檢查測量結果和設備狀態(tài)。

常見(jiàn)問(wèn)題

·         需要檢查諸如照明狀態(tài)等設備運行狀以及測量結果時(shí)，因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。

STM7解決方案

能一目了然確認當前狀態(tài)的計數器

計數器帶有顯示設備狀態(tài)和設置的指示燈，可以簡(jiǎn)單的實(shí)現對設備當前設定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的小單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換，此外，還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。

計數器安裝在鏡架上 

可滿(mǎn)足個(gè)性化需求自由放置的可拆卸式計數器

無(wú)論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上，可拆卸式計數器都可以根據用戶(hù)的使用狀況和使用習慣放置在優(yōu)選位置。當用戶(hù)站著(zhù)進(jìn)行測量時(shí)，可以將計數器安裝在和觀(guān)察位置大致相同高度的鏡架一側，以方便輕松的觀(guān)察和檢查結果。當用戶(hù)通過(guò)數碼相機在顯示器上進(jìn)行觀(guān)察和測量，或使用電動(dòng)Z軸調焦機型時(shí)，只需將計數器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進(jìn)行作業(yè)。

計數器放置在工作臺上

自動(dòng)聚焦系統具有的重復性

實(shí)現更快、更簡(jiǎn)單、更精確的高度測量

常見(jiàn)問(wèn)題

·         進(jìn)行目視測量時(shí)，不同的操作者會(huì )測得不同的高度測量值。此外，這種測量方法非常耗時(shí)，效率低下。

STM7解決方案

具有*的重復性、簡(jiǎn)單且高度精確的聚焦系統

通過(guò)將圖案投影在視場(chǎng)范圍內，由操作者確認上下圖案的重合情況，奧林巴斯的聚焦導航系統實(shí)現了重復性高的高度測量操作。普通的目測觀(guān)察進(jìn)行高度測量時(shí)，即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像，也會(huì )出現微小誤差。而使用STM7的聚焦導航系統，只需匹配標記便可進(jìn)行測量，因此減少了操作者的主觀(guān)性對測量結果造成的影響。

目視高度測量 
 

聚焦導航系統 
  

 焦點(diǎn)下方           焦點(diǎn)位置          焦點(diǎn)上方

自動(dòng)聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量

常見(jiàn)問(wèn)題

·         進(jìn)行目視測量時(shí)，不同的操作者得出的高度測量結果也會(huì )不一樣。

·         手動(dòng)高度測量需要操作者反復進(jìn)行移動(dòng)載物臺，使用旋鈕調焦的操作，這使測量既耗時(shí)又低效。 

·         很難對微小的物體聚焦，比如引線(xiàn)。

STM7解決方案

自動(dòng)對焦單元：出色的再現性和聚焦速度

無(wú)論操作者的經(jīng)驗如何，使用STM7自動(dòng)對焦單元均可以在短時(shí)間內實(shí)現高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面，利用主動(dòng)反射、共聚焦方法都可以實(shí)現穩定對焦，而小直徑的激光，也能保證對微小物體，比如引線(xiàn)的自動(dòng)對焦。

單次對焦模式

執行自動(dòng)聚焦后，可瞬間完成從大致的聚焦狀態(tài)轉為視場(chǎng)中心的清晰對焦。

追蹤模式

啟用具有特色的追蹤模式后會(huì )隨樣品表面的高低起伏自動(dòng)對焦，即使在移動(dòng)工作臺的情況下，也可以始終保持合焦狀態(tài)。這使得操作者在手不需要離開(kāi)X和Y手柄的情況下也能實(shí)施觀(guān)察，從而極大地提高了Z軸的測量效率。

實(shí)現觀(guān)察與測量范圍拓展的配件

帶編碼物鏡轉盤(pán)

將編碼物鏡轉盤(pán)與數碼照相機配套使用可以在觀(guān)察過(guò)程中在屏幕上顯示物鏡的放大倍率，以方便您記錄倍率。同時(shí)切換倍率時(shí)也能與軟件中記錄的校準值和光強連動(dòng)調整設置。有明場(chǎng)物鏡和明暗場(chǎng)物鏡兩種供您選擇

MM6-EMO /正像單目鏡筒

正立圖像用單目鏡筒?？膳cMM6-OCC10×（帶十字線(xiàn)的目鏡）配套使用。

STM7-FS/ 腳踏開(kāi)關(guān)

實(shí)現了不需要用手進(jìn)行數據傳輸，使操作者可以在手不離開(kāi)X和Y手柄的情況下完成測量。

SZ-LW61/ 白光LED照明單元

具有小型，輕便，使用壽命長(cháng)，功耗低等特點(diǎn)。此外，這款高性?xún)r(jià)比的LED照明單元也不會(huì )發(fā)生閃爍和亮度波動(dòng)。

SZX2-ILR66+SZX-RHS/LED環(huán)形照明裝置+手動(dòng)控制單元

SZX-RHS手動(dòng)控制單元可以實(shí)現SZX2-ILR66反射LED環(huán)形照明裝置的四段獨立照明，并提供具有較高色溫的清晰圖像?？梢詮?3種模式中選擇的照明。

旋轉載物臺

使用微調旋鈕可以輕松實(shí)現對樣品的平行對齊。

STM7-RS100用STM7-CS100 100 mm×100 mm載物臺

STM7-RS200用于STM7-CS200 200 mm×200 mm載物臺

STM7-RS300用于STM7-CS300 300 mm×300mm載物臺

專(zhuān)為更*測量而設計的系統

測量支持系統

對于顯示測量顯微鏡輸出的數據和圖像來(lái)說(shuō)，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。推動(dòng)以更高精度實(shí)現復雜的測量正是開(kāi)發(fā)全新奧林巴斯測量軟件的原因所在。該軟件亦可與數碼相機結合使用。

放置樣品后即可開(kāi)始測量——無(wú)需將樣品平行對齊

直接測量

接受STM7輸出的坐標信息進(jìn)行測量。

再調用測量

經(jīng)過(guò)測量或計算之后得到的坐標還可以再用于隨后的測量。這樣就避免了重復同樣的工作，從而實(shí)現了更順暢和更高效的工作流程。

虛擬點(diǎn)測量

通過(guò)繪制直線(xiàn)和圓形可以形成交點(diǎn)、中點(diǎn)、長(cháng)度，以及一系列其它的測量項，然后可以在已采集的樣品圖像上將這些測量項作為參考點(diǎn)保留。

對齊測量

原點(diǎn)與X軸均可根據樣品而設置，這樣即使當樣品沒(méi)有和載物臺對齊平行時(shí)，也可以進(jìn)行測量。

原來(lái)的軸                 新軸

XZ平面測量

傳統的測量顯微鏡以從俯視觀(guān)察到的XY平面的測量為主。為了響應用戶(hù)從側視的角度測量斷面方向的需求，奧林巴斯在STM7-BSW中內置了XZ平面測量功能。以前很難實(shí)施的測量現在已經(jīng)變得容易多了——例如半球形物體垂直截面的半徑測量，或與基準線(xiàn)相比具有彎曲底部的凹槽的深度測量等。

半球形樣品的半徑測量      凹槽底部與參考線(xiàn)之間的高度測量

記錄重復測量的步驟

宏注冊

可以將經(jīng)常使用的對齊和其它測量步驟組合并定義成單個(gè)宏按鈕，這樣每次啟動(dòng)顯微鏡后，無(wú)需從零開(kāi)始。

重復執行測量

通過(guò)根據已記錄的教學(xué)列表的指示，簡(jiǎn)單地移動(dòng)載物臺、獲取坐標值，可以輕松地進(jìn)行重復測量，完成所有的作業(yè)。此功能可用于對相同類(lèi)型樣品重復執行相同的測量項目。此外，如果在已記錄的教學(xué)列表中設置了設定值和公差，當測量值超過(guò)規格時(shí)，軟件可以自動(dòng)判定。

NG結果示例

重復執行測量的測量點(diǎn)導航

這個(gè)功能可以顯示移動(dòng)到下一個(gè)測量點(diǎn)的方向和距離，從而消除了操作者在這一環(huán)節上的苦惱。該功能還省去了每此移動(dòng)前需要在圖紙上確認下一個(gè)測量點(diǎn)的麻煩，在重復測量的時(shí)候提高了操作者作業(yè)的速度。

可以消除測量過(guò)程中主觀(guān)性影響的便捷功能

自動(dòng)邊緣檢測

這個(gè)功能檢測樣品的邊緣，自動(dòng)獲取樣品的坐標并測量。因此，操作者不再需要坐標，降低了操作者的主觀(guān)性對測量的影響。自動(dòng)邊緣檢測的另外一個(gè)特色是具有定時(shí)功能，實(shí)現了到規定的時(shí)間后自動(dòng)獲取坐標。定時(shí)功能和腳踏開(kāi)關(guān)功能，使操作者能夠在手不需要離開(kāi)載物臺手柄的情況下專(zhuān)心測量。

圓形內的自動(dòng)邊緣檢測         多點(diǎn)自動(dòng)邊緣檢測

異常點(diǎn)消除

邊緣檢測過(guò)程中，可以自動(dòng)將金屬毛刺等異常點(diǎn)排除在外。這樣，不管樣品的狀態(tài)如何，都會(huì )得出一致的測量值計算結果。此外，也可以將被排除的異常點(diǎn)以不同的顏色顯示在屏幕上。

帶有異常點(diǎn)的樣品             異常點(diǎn)消除功能

照明控制

顯微鏡照明的光強也可以通過(guò)軟件精確地控制。當注冊重復執行測量的教學(xué)列表時(shí)，也可以保存光強的設置，這樣在重復執行測量或自動(dòng)邊緣檢測過(guò)程中，實(shí)現了在相同的照明條件下實(shí)施測量。

自動(dòng)倍率識別（可選配，僅適用于編碼物鏡轉盤(pán)的配置）

通過(guò)使用編碼物鏡轉盤(pán)，在切換物鏡時(shí)，可以自動(dòng)調用先前設定好的校準值。這樣可以始終在顯示器上顯示合適的刻度尺。

生成定制報告

一鍵生成報告

測量結果可以一鍵輸出為Excel格式，這避免了在記錄數據過(guò)程中發(fā)生錯誤的可能性。圖像也可以與測量結果一起粘貼，從而實(shí)現了更高效地生成報告。

可選功能：多圖拼接（MIA）功能

拼接多個(gè)圖像可以獲得一個(gè)具有高倍率的廣域圖像。因為圖像是根據坐標數據拼接而成，因此系統能夠產(chǎn)生高可靠度的圖像。

可選功能：景深擴展（EFI）功能

對于具有不均勻、復雜表面形狀的樣品，EFI功能能非常有效地獲取在整個(gè)高度范圍內都有良好聚焦的圖像。使用EFI功能時(shí)，移動(dòng)Z軸獲得多張不同焦點(diǎn)位置的圖像，再進(jìn)行圖像處理，后合成為一張全面對焦的圖像。如果使用電動(dòng)Z軸模塊可以實(shí)現一鍵自動(dòng)圖像合成。